• 中文名称： 三甲基铟

• 英文名称： Trimethylindium (常缩写为 TMIn 或 TMI)

• CAS号： 3385-78-2

• 分子式： C?H?In 或 (CH?)?In

• 分子量： 159.91 g/mol

• 外观： 常温常压下为白色结晶固体。

• 气味： 具有类似腐臭或霉烂的特征性恶臭。

2. 主要性质

• 物理性质：

  • 熔点： 88 °C (约)

  • 沸点： 134 °C (升华)

  • 它在较低温度下易升华，这是其作为MOCVD源的一个重要特性。

  • 不溶于水，但会与水发生剧烈反应。

  • 可溶于许多有机溶剂，如烷烃、芳烃。

主要用途

三甲基铟几乎完全用于金属有机化学气相沉积（MOCVD） 工艺，是生产III-V族化合物半导体材料的关键前驱体。