中文名称： 五氟苯基二甲基氯硅烷、氯二甲基(五氟苯基)硅烷
英文名称： Chlorodimethyl(pentafluorophenyl)silane
CAS号： 20082-71-7
分子式： C₈H₆ClF₅Si
分子量： 260.66 g/mol
外观： 无色至几乎无色的透明液体
纯度： 常见规格为 ≥95%
沸点 ：88-90 °C / 10 mmHg
密度： 约 1.384 g/mL (25 °C)
折射率 ：约 1.448
闪点 ：75 °C (闭杯)
敏感性： 湿敏性，遇水会分解

五氟苯基二甲基氯硅烷（CAS号 20082-71-7）是一种常用的硅烷化试剂，主要应用于气相色谱-电子捕获检测（GC-ECD）中，对痕量羟基化合物进行衍生化处理。